希而科优势供应 EFTEC 喷嘴

喷嘴用来供应光刻胶和各种有机溶剂，每一个喷嘴对应一种材料，如图1 [1]  所示。在整个光刻工艺中，除了曝光，其余所有的步骤都是在匀胶显影机中完成的。匀胶显影机的主要工艺单元分别有晶圆表面增粘处理，光刻胶旋涂单元，边缘曝光，显影单元等，这些单元的装置都离不开喷嘴。

晶圆表面增粘处理:

有些晶圆表面是亲水的，这不利于光刻胶的涂覆。在这种情况下，通常首先对晶圆表面做增粘处理，这是在匀胶显影机的增粘单元中进行的。在真空腔中装入晶圆后封闭腔体。晶圆在腔体中加热到一定的温度，同时通过喷嘴将六甲基二硅胺（HMDS）气相引入或直接喷淋在晶圆表面，使其直接由亲水性变成疏水性。

1. 光刻胶旋涂单元：

（1）EBR（edge bead remove）喷嘴是指去边溶剂喷嘴。有机溶剂从去边喷嘴中倾斜向外喷在晶圆的边 缘，同时晶圆以一定的速度旋转，清洗晶圆的边缘。

（2）胶喷嘴：如图2 [1]  所示，不仅仅局限于光刻胶，也可以用于旋涂抗反射涂层和防水顶盖图层。

（3）背冲洗喷嘴：如图2所示，也用来喷淋溶剂，在离心力的作用下，喷淋的溶剂清洗晶圆背面的边缘区域。

2. 显影单元：显影单元包含一个转台和几个喷嘴，几个喷嘴分别用于喷洒显影液，去离子水以及表面活化剂。显影液的喷淋分为两种方式：静态喷淋盒动态喷淋，显影液喷嘴可以分三类，如图3 [1]  所示：

（1）扫描式细长喷口

（2）多个喷嘴动态喷淋

（3）单个喷嘴动态喷淋

目前的的显影喷嘴设计，一般是把几个不同的喷嘴集成在一个机械臂上。

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10007477

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10016765

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10016767

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10016768

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10017359

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10017616

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11221501

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10001759

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10004326

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10004330

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10006061

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10006151

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10006164

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10006323

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10006855

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10006862

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10007609

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10007715

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10007753

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10007754

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10007755

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10007763

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10007829

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10008881

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10009082

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10009085

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10009947

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10015129

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10015910

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10016367

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10016803

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10017797

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11188801

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11231901

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11232301

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11272401

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11279501

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11293301

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11326005

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11327101

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11327401

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11327501

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11333001

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11339802

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11631001

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11923501

希而科销售 EFTEC 喷嘴 12005904

希而科销售 EFTEC 喷嘴 12280001

希而科销售 EFTEC 喷嘴 12280002

希而科销售 EFTEC 喷嘴 60530501

希而科销售 EFTEC 喷嘴 Back pressure regulator P200-RM -10007609

希而科销售 EFTEC 喷嘴 Gearflowmeter ZHM01/2 47.F.T.-11201601

希而科销售 EFTEC 喷嘴 Level sensor LIQUICAP No EX-10007924

希而科销售 EFTEC 喷嘴 Manometer RF 63 Gly 0~25bar 1/4 -10006839

希而科销售 EFTEC 喷嘴 O-Ring 10x2B -10008542

希而科销售 EFTEC 喷嘴 O-Ring 11x2B- 10008524

希而科销售 EFTEC 喷嘴 O-Ring 16x2B -10008523

希而科销售 EFTEC 喷嘴 O-ring 25 x 2.0- 11409801

希而科销售 EFTEC 喷嘴 O-Ring-10008525

希而科销售 EFTEC 喷嘴 Quick exhaust valve SEU-1/8 -11333001

希而科销售 EFTEC 喷嘴 Sealing member 9,7x20,3-HD- 10008527

希而科销售 EFTEC 喷嘴 Solenoid coil MSFG-24DC-M-EX - 11923501

希而科销售 EFTEC 喷嘴 Solenoid coil MSFG-24DC-M-EX -11923501

希而科销售 EFTEC 喷嘴 Solenoid valve MFH-3-1/4-EX-11326005

希而科销售 EFTEC 喷嘴 Supporting ring 10,1x19,9x2,1- 10008526

希而科销售 EFTEC 喷嘴 Valve seat assy-10008541

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11289501

希而科销售 EFTEC 喷嘴 ZHM01/2 47.F.T.（11201601）

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11339802

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11631001

希而科销售 EFTEC 喷嘴 4.SIG.E003-5.60

希而科销售 EFTEC 喷嘴 4.SIG.E005-4.70

希而科销售 EFTEC 喷嘴 4.SIG.E005-5.60

希而科销售 EFTEC 喷嘴 4.SIG.E014-4.70

希而科销售 EFTEC 喷嘴 4.SIG.E014-5.60

希而科销售 EFTEC 喷嘴 hose nozzle 44-0813

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11289501

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11231901 quick-acting coupling with ring

希而科销售 EFTEC 喷嘴 25000001

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10006951 K90024664

希而科销售 EFTEC 喷嘴 EFTEC

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11674601

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11272301

希而科销售 EFTEC 喷嘴 STBB6-25

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11207601

希而科销售 EFTEC 喷嘴 ZHM01/247.F.T+VTE-CT-EX-E

希而科销售 EFTEC 喷嘴 D-045A

希而科销售 EFTEC 喷嘴 D-050A

希而科销售 EFTEC 喷嘴 10-L 20029046

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11 20029045

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11231901

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11289201

希而科销售 EFTEC 喷嘴 11311401

希而科销售 EFTEC 喷嘴 1-R 20029040

希而科销售 EFTEC 喷嘴 3-L 20029060

希而科销售 EFTEC 喷嘴 6-L 20029069

希而科销售 EFTEC 喷嘴 6-R 20029070

希而科销售 EFTEC 喷嘴 BUSCH MS2 100L-2 B53~MOT 50HZ 3.5KW 2900MIN-1 COS0.84 INSCI.F IP55 S1 T.AMB.40℃ PN：0621155996

希而科销售 EFTEC 喷嘴 MINK MM 1142(BUSCH MM1142 B V03 S/N:D14420830 PABS=60HPA VMAX=140M3/H NMAX=3000MIN-1 OIL=BUSCH VS 150 OIL QUANTITY=0.85L

希而科销售 EFTEC 喷嘴 110120

希而科销售 EFTEC 喷嘴 110122

希而科销售 EFTEC 喷嘴 202301

希而科销售 EFTEC 喷嘴 Cable for TK-AKZ-08-2-5

希而科销售 EFTEC 喷嘴 TK-AKZ-08-2-5

 希而科优势供应 EFTEC  喷嘴

 希而科优势供应 EFTEC  喷嘴